物理學,化學,地球科學；地質學,工程
| 層級： | 課程資料 |
| 媒體： | 影音 |
薄膜工程
2023-02-01-2030-12-31
國立成功大學 材料科學及工程學系 丁志明
關鍵字： 薄膜工程之歷史背景 物理鍍膜技術 鍍膜技術
本課程首先簡介薄膜工程之歷史背景及演進，再以薄膜工程所需具備之真空原理及技術拉開整個課程的序幕。
第一個介紹的薄膜技術及原理為最具歷史之蒸鍍技術，此為一種物理鍍膜技術。
接著在介紹其他更複雜之物理鍍膜技術之前，先概略介紹另一種常用之化學氣相沉積鍍膜技術。
當學生學習了上述兩種基本鍍膜技術及原理之後，本課程將進入輝光放電及電漿原理介紹，這一部份的講解及說明將能使學生順利進入下一主題，亦即以電漿及高能粒子束進行鍍膜的學習。
至此，主要之鍍膜技術及原理大致已講解完畢，接著則進行講授薄膜成核及成長的原理，以及薄膜特性分析的方法及原理。
而滛進一步增進學生之學習效果，最後本課程將以分組的方式訓練學生於發表的文獻中搜集與本課程相關之文獻並於期末結束之前進行口頭報告及繳交書面報告。
前往課程 View Course第一個介紹的薄膜技術及原理為最具歷史之蒸鍍技術，此為一種物理鍍膜技術。
接著在介紹其他更複雜之物理鍍膜技術之前，先概略介紹另一種常用之化學氣相沉積鍍膜技術。
當學生學習了上述兩種基本鍍膜技術及原理之後，本課程將進入輝光放電及電漿原理介紹，這一部份的講解及說明將能使學生順利進入下一主題，亦即以電漿及高能粒子束進行鍍膜的學習。
至此，主要之鍍膜技術及原理大致已講解完畢，接著則進行講授薄膜成核及成長的原理，以及薄膜特性分析的方法及原理。
而滛進一步增進學生之學習效果，最後本課程將以分組的方式訓練學生於發表的文獻中搜集與本課程相關之文獻並於期末結束之前進行口頭報告及繳交書面報告。
https://i-ocw.ctld.ncku.edu.tw/site/course_content/bq0SqR2T2je/Fp0p0STrc9e